|
|
产品型号 性能参数 |
TLX-40 |
TLX-40A |
TLX-41 |
|
1 |
结构形式 |
单层英管+水冷屏蔽罩 |
双层水冷石英管 |
双层水冷石英管 |
|
2 |
晶体尺寸（吋） |
6-7 |
6-7 |
6-8 |
|
3 |
内石英管尺寸（mm） |
Φ380×1100 |
Φ380×1170 |
Φ410×1170 |
|
4 |
加热方式 |
电磁感应 |
电磁感应 |
电磁感应 |
|
5 |
加热功率（kw） |
60 |
40 |
40 |
|
6 |
加热频率（kHz） |
8 |
8 |
8 |
|
7 |
最高温度（℃） |
2400 |
2400 |
2400 |
|
8 |
测温方式 |
上、下 |
上、下 |
上、下 |
|
9 |
温度测控范围（℃） |
1000-2600 |
1000-2600 |
1000-2600 |
|
10 |
温度控制精度（℃） |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
|
11 |
控温模式 |
功率+温度控制模式 |
功率+温度控制模式 |
功率+温度控制模式 |
|
12 |
炉内真空度（Pa） |
6．00E-04 |
6．00E-04 |
6．00E-04 |
|
13 |
线圈升降速度（mm/h） |
0.02-2 |
0.02-2 |
0.02-2 |
|
14 |
线圈升降距离（mm） |
≥260 |
≥300 |
≥300 |
|
15 |
坩埚升降距离（mm） |
≥1250 |
≥850 |
≥850 |
|
16 |
坩埚旋转速度（rpm） |
0.1-20 |
0.1-20 |
0.1-20 |
|
17 |
炉盖开启方式 |
气动升降 |
气动升降 |
气动升降 |
|
18 |
气体源 |
N2/Ar/H2 |
N2/Ar/H2 |
N2/Ar/H2 |
|
19 |
整机控制方式 |
全自动 |
全自动 |
全自动 |
|
20 |
主机尺寸 |
1400×2100×3800 |
1400×2100×3600 |
1680×2200×3600 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
稳定可靠，功能全面，操作方便
真空密封结构采用专利技术（ZL201921312063.5）提高密封性能；
线圈移动部件采用专利技术（ZL201921312079.6）提高运动稳定性；
坩埚炉底运动采用专利技术（ZL201920560956.5）提高运动可靠性；
测温口自动吹扫清理技术（ZL202120615808.6）提高测温精准度；
测温传感器具备电动对中功能；
可满足下部装卸料工艺和上部装卸料工艺——配备装卸料机械手；
具备功率控制模式和温度控制模式（上、下温度控制）无缝转换；
控制系统操作权限设置；一键式全过程全自动控制；
工艺参数存贮、传输；
网络远程控制（根据用户需要）；
氢气泄漏报警，漏水报警（根据用户要求）；